中國(guó)有沒(méi)有必要舉全國(guó)之力，去造一臺(tái)光刻機(jī)？

芯片研發(fā)的各個(gè)環(huán)節(jié)環(huán)環(huán)相扣。要想生產(chǎn)芯片，光刻機(jī)的問(wèn)題是必須克服的一大困難。臺(tái)積電之所以在全球占支配地位，跟荷蘭光刻機(jī)制造商ASML的深度合作也很有關(guān)系。文章提到，ASML現(xiàn)有的光刻機(jī)技術(shù)就是臺(tái)積電的全世界邀約之下、美日歐大企業(yè)全部拒絕的情況下，ASML鋌而走險(xiǎn)答應(yīng)的——兩家頗有遠(yuǎn)見(jiàn)的企業(yè)彼此的信任和肯定，成就了他們今天的市場(chǎng)占比。就目前來(lái)說(shuō)，中國(guó)還尚未涌現(xiàn)這樣頗具野心、沉心研發(fā)的企業(yè)，成熟的科研環(huán)境也尚未成型，但是好消息也在向我們招手：ASML與中芯國(guó)際簽訂協(xié)議，將出售一批EUV光刻機(jī)給中國(guó)，燃眉之急將解，中國(guó)的芯片“卡脖子”現(xiàn)象有望緩解。此外，中科院長(zhǎng)春光電所目前在研國(guó)產(chǎn)最好的EUV光刻機(jī)，成功后將用于7nm及以下制程，其分化出來(lái)的上海光機(jī)所在EUV核心的液滴錫靶領(lǐng)域取得了較大突破。盡管飽受各種制裁和技術(shù)困難，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還是有所希望。

關(guān)于光刻機(jī)的故事：早在1997年，英特爾看到挑戰(zhàn)193nm的巨大難度，決心集合人類(lèi)精英一起愚公移山，有點(diǎn)流浪地球的意思。他們說(shuō)服了美國(guó)對(duì)高科技最開(kāi)明的克林頓內(nèi)閣，以公司形式發(fā)起了EUV LLC這樣的一個(gè)合作組織。

這個(gè)組織由英特爾和美國(guó)能源部牽頭，集合了當(dāng)時(shí)還如日中天的摩托羅拉以及AMD，以及享有盛譽(yù)的美國(guó)三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室：勞倫斯利弗莫爾實(shí)驗(yàn)室，勞倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室和桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室，投資兩億美元集合幾百位頂級(jí)科學(xué)家，從理論上驗(yàn)證EUV可能存在的技術(shù)問(wèn)題。

英特爾還力邀ASML和尼康加入EUV LLC，因?yàn)楫?dāng)時(shí)美國(guó)光刻已經(jīng)不太行了。但此舉受到美國(guó)政府的阻撓，因?yàn)樗麄兩岵坏米屚鈬?guó)公司分享美國(guó)最前沿技術(shù)。

最終結(jié)果是尼康被排除在外，ASML做了一堆對(duì)美國(guó)貢獻(xiàn)的許諾后被允許加入。另外一家例外的非美國(guó)公司是英飛凌，它被允許和Micron一起加入EUV LLC。

無(wú)論如何，需要強(qiáng)調(diào)的是，在半導(dǎo)體制造中，光刻只是其中的一個(gè)環(huán)節(jié)，另外還有無(wú)數(shù)先進(jìn)科技用于前后道工藝。

正是因?yàn)榭茖W(xué)家們不屈不撓的努力，才使得我們?cè)谶@個(gè)一切由芯片驅(qū)動(dòng)的偉大時(shí)代，享受著各種手機(jī)、電腦、家電、汽車(chē)飛機(jī)和互聯(lián)網(wǎng)帶給我們的精彩生活。

毛主席說(shuō)過(guò)，別人有的我們一定也要有！
舉全國(guó)之力造光刻機(jī)，是我們的必然選擇！